半導體產業作為電子信息產業的核心，其發展離不開關鍵技術突破與高端人才支撐。近日，依托“以才引才、以商引商”的聯動效應，立川（杭州）半導體設備有限公司（下稱“立川半導體”）全自動晶圓檢測探針臺項目、科立芯（杭州）精密設備有限公司（下稱“科立芯”）IWC 晶圓清洗技術項目相繼落戶余杭經開區，為區域半導體產業鏈補鏈強鏈注入強勁動能。

  （圖片說明：余杭經開區全景圖）

  “以商引商”，兩大人才項目實現“毗鄰而居”

  “去年年底，余杭經開區領導了解到我們項目后就積極接洽，今年上班第一天更是專程到無錫上門招商。這份重視與熱情讓我們深受觸動?！绷⒋ò雽w項目相關負責人林邦羽博士回憶起與余杭經開區的結緣，言語間滿是認可。?

  在后續的項目對接溝通中，余杭經開區所展現出的超強執行力，更是讓立川半導體吃下了“定心丸”。從項目選址到人才政策扶持，再到產業鏈上下游對接，全方位的助企服務細致入微。

  “我們的設備體型較大，對生產場地要求特殊，希望在一樓，有足夠的載重，還最好配備電梯?！?林邦羽道出了企業的訴求。招商小組得知后，立刻全面摸排合適廠房，最終在余杭經開區內的傳誠產業園為其找到了理想的落地空間。正是這份高效與貼心，讓立川半導體在確定落戶后，向合作方科立芯伸出了 “橄欖枝”。

  “科立芯的晶圓清洗技術與我們的晶圓檢測探針臺在半導體制造中有著深度的產業協同，能共同保障芯片良率和制程穩定性?！绷职钣鸨硎?，在得知科立芯白耀文博士領銜的項目正在尋找落戶場地時，他第一時間向對方推薦了余杭經開區。

  白耀文在接到推薦后，便與林邦羽共同來到余杭經開區實地考察。在深入了解了當地的產業配套情況、對人才項目的扶持政策及區位優勢后，白耀文沒有太多猶豫，便從蘇州來到了余杭經開區?！拔覀兊男聢龅鼐驮诹⒋ò雽w隔壁，我們雙方的客戶基本都可以共通，以后在產業對接上方便多了?！睂τ谥蟮陌l展，白耀文充滿期待。

  產業協同、技術互補，共同筑起芯片制造防線

  立川半導體項目致力于全自動晶圓檢測探針臺相關的設備的研發與生產；科立芯項目則在晶圓清洗設備的研發道路上不斷深耕發展——這兩個項目中共同提到的“晶圓”顯然是他們形成緊密合作的基礎。

  或許很多人對“晶圓”感到陌生，其實它就是制作芯片的關鍵原材料——硅晶片。一塊薄薄的圓形硅晶片，能加工出各類電路元件結構，使之成為具有特定電性功能的集成電路（IC）產品。待制作完成后，晶圓會被送往封裝廠切割、封裝，最終形成我們日常使用的芯片。

  立川半導體所研發的探針臺作為晶圓制造、封裝測試環節的必備設備，在電性能測試、精密定位與校準、生產流程優化等方面發揮著重要作用?！熬A制造的很多關鍵環節都離不開探針臺，比如電性能檢測時，通過探針與芯片電極接觸，能精確測量電流、電壓等參數，驗證芯片設計是否符合規格?！绷职钣鸾榻B道。據了解，其研發的全自動晶圓級探針臺，相比手動、半自動設備，擁有更精密的電氣架構設計、多子系統協調控制和高精密零部件集成能力。

  （圖片說明：立川半導體全自動晶圓檢測探針臺）

  而在晶圓制造過程中，科立芯專注的清洗環節同樣不可或缺?！熬A制作的每一道工序前后都需要用到我們的清洗設備，比如在探針臺測試前，光刻、刻蝕、化學機械拋光等工序后，都需要通過清洗去除晶圓表面的顆粒、金屬殘留等污染物，否則會導致探針臺測試時出現假性失效，影響芯片最終性能?！卑滓慕忉尩?。

  據白耀文介紹，傳統的RCA 清洗技術往往需要用到強酸、氧化物等化學試劑，其清洗后的試劑對環境存在一定影響，而科立芯所采用的IWC清洗技術獨特電解離子水技術，可產生去污能力更強的堿性電解水，不再需要加入過多化學試劑，在保護環境的同時通過產生的納米氣泡，進一步提升清洗效果。

  （圖片說明：科立芯晶圓清洗設備）

  “我們計劃在三年內，研發投入1900萬元用于繼續優化IWC清洗液的配方和生產工藝，拓展IWC技術在半導體制造其他環節的應用，進一步填補國內高端晶圓清洗設備的技術空白?！卑滓臐M懷期待地表示。

  此次兩大項目的聯動落地，既是余杭經開區 “以才引才、以商引商”模式的生動實踐，也體現了該區域對半導體高端人才與核心技術的強大吸引力。未來，隨著項目的逐步投產，余杭經開區半導體產業鏈布局將更加完善，也能夠為長三角半導體產業高質量發展貢獻更多硬核力量。（楊旭曉 王婷宇）